Ungaran Timur merupakan salah satu daerah rawan longsor di Kabupaten Semarang. Pusat Vulkanologi dan Mitigasi Bencana Geologi (2016) telah melakukan penelitian mengenai kerentanan gerakan massa pada Kota Salatiga dan Kabupaten Semarang, Provinsi Jawa Tengah dengan skala 1:250,000, namun diperlukan peta yang lebih rinci untuk mitigasi longsor di tingkat kecamatan. Penelitian ini dilakukan untuk menyusun peta kerentanan gerakan tanah di Kecamatan Ungaran Timur dengan skala lebih detil menggunakan metode Weight of Evidence (WoE). Litologi, kemiringan lereng, tata guna lahan, elevasi, jarak dari kelurusan, jarak dari jalan, jarak dari sungai dan Normalized Difference Vegetation Index (NDVI) dianggap sebagai faktor-faktor penyebab longsor di wilayah studi. Hasil penelitian menunjukkan bahwa wilayah penelitian terdiri dari zona kerentanan gerakan tanah sangat rendah, rendah, sedang, dan tinggi yang tersebar merata. Parameter yang paling berpengaruh dengan kejadian tanah gerakan tanah adalah kemiringan lereng, ketinggian tempat, jarak dari jalan raya dan jarak dari sungai. Hasil analisis memiliki tingkat prediksi terhadap gerakan tanah di daerah penelitian cukup baik