Penelitian ini bertujuan untuk menganalisis kinerja pengawasan Inspektorat Provinsi Maluku dari aspek perencanaan, pengukuran dan pelaporan kinerja. Penelitian ini menggunakan pendekatan deksriptif-kualitatif yang dilakukan pada Inspektorat Daerah Provinsi Maluku selama 2 (dua) bulan yaitu bulan Juli sampai dengan bulan September   2023.   Subjek penelitian adalah, Inspektur, Sekretaris Inspektorat dan Inspektur Pembantu Wilayah I, II, III, dan Kelompok Jabatan Fungional. Teknik analisis data dalam penelitian ini menggunakan model Miles dan Huberman. Hasil   penelitian   menyimpulkan   bahwa   (1)   kinerja   pengawasan Inspektorat Provinsi   Maluku   dalam   menetapkan   perencanaan   kinerja   telah memenuhi dokumen dokumen berupa Rencana Strategis, Rencana Kerja dan perjanjian kinerja ; (2) Kinerja pengawasan Inspektorat Provinsi Maluku  dalam menetapkan pengukuran kinerja di laksanakan dengan membuat indikator kinerja yang merupakan ukuran keberhasilan organisasi dalam mencapai tujuan dan merupakan ikhtisar hasil berbagai Program dan Kegiatan